志昇自动化设备(深圳)有限公司

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产品名称: 志昇真空无尘洁净烘烤箱
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价格: 电议
供货总量: 50
规格: 非标
更新日期: 2026年05月22日,有效期:180天
关键字: 真空无尘洁净烘烤箱 半导体真空无尘洁净烘烤箱 芯片真空无尘洁净烘烤箱
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一、核心技术特点

真空与洁净双重加持‌是设备的灵魂。腔体可快速抽至极限真空状态,有效排出胶体内部残留的微小气泡,杜绝封装缺陷;同时搭载HEPA/ULPA高效过滤系统与微正压密封结构,内部洁净度稳定达Class 100,可拦截0.3μm以上的微小颗粒,从源头消除烘烤过程中的二次污染。

高精度温控系统‌为工艺一致性提供可靠保障。设备采用PID智能调节搭配SSR无触点输出,控温精度达±0.1℃,腔内温度均匀度控制在±1.0%以内,确保每一批次产品受热均匀、固化充分。针对易氧化物料,可选配氮气保护系统,配合氧浓度传感器闭环控制,残留氧浓度可压至1ppm以下,杜绝高温氧化变色。

无尘结构设计‌同样体现匠心。内胆采用镜面304不锈钢一体成型,满焊圆角无死角,无螺丝外露,风道循环科学合理,不给微粒任何积聚空间。多重安全联锁机制涵盖超温报警、漏电保护、风机过载保护及门锁联动,确保设备长期运行安全可靠。

二、应用范围

该设备广泛应用于半导体制造全流程,涵盖晶圆固化、芯片封装、银浆烧结及底部填充胶真空脱泡等环节。在电子元器件领域,适用于PCB/FPC线路板、电容电阻的高洁净烘烤与干燥;在光电显示领域,满足LCD、OLED、触摸屏的精密固化需求。同时覆盖精密五金、医疗器械、生物医药、新材料研发及航空航天零部件等对无尘、无氧化有严苛要求的 制造场景。

三、服务体系

志昇立足本土,在全国各主要区域均驻有专业技术服务人员,承诺24小时内快速响应。设备出厂前经过严格逐项测试,配套提供IQ/OQ/PQ全套验证服务,并出具温度均匀性、真空性能及洁净度专业测试报告。售后端整机保修18个月,关键部件保修24个月,终身维护,同时提供上门安装调试、操作培训、工艺优化指导及现场校准等全周期技术支持,确保设备长期稳定运行,让客户无后顾之忧。

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